金刚石作为第四代半导体材料，具有极其优越的物理化学特性，在诸多高科技领域具有很好的应用前景。金刚石抛光技术的研究不但突破了金刚石在高科技领域的应用瓶颈，还带动了一些新工艺、新方法和新技术的发展。本书以作者多年的科研成果为基础，汇集国内外金刚石领域的**进展，全面系统地对金刚石应用和抛光技术的重要成果进行了归纳和总结，内

现代半导体技术和先进材料研发的进步，促进薄膜材料和制备技术快速发展，要求薄膜制备技术和薄膜结构有精细控制，需要了解表面与薄膜方面的基本物理知识。本书着重介绍表面与薄膜相关的基本概念、基本原理，帮助理解掌握薄膜技术的基本知识，为工作和科研打下良好基础。本书内容包括真空物理基础、表面科学基础、薄膜物理基础、薄膜生长技术、薄

本书从涂布液与涂布基材、涂布方式、干燥工艺、涂布辅助装置、涂布液输送、涂布模头设计及洁净环境建设等方面，描述了涂布复合质量问题及其控制手段，介绍了部分弊病分析方法及在线监控措施。

本书着眼于目前常用的PVD氮化物涂层在高温环境下的摩擦学特性，模拟涂层使用的真实环境，分析了五种PVD氮化物涂层的制备、性能、高温氧化特性，着重探讨了PVD氮化物涂层的高温摩擦磨损特性及磨损机理，总结了PVD氮化物涂层材料的研究现状及发展趋势，从而为开发新的涂层材料提供有效的理论依据。本书可为机械领域和材料领域的工程技

《膜技术及其应用》以微滤、超滤、纳滤、反渗透、气体分离等得到成熟工业应用并在我国工业过程和生活中扮演举足轻重的作用的膜过程为出发点，详细阐述了这些膜过程的基本概念、常用的膜材料、膜的制备方法及其在城市污水处理、油水分离、纯水生产、气体净化、农药生产废水处理、垃圾渗滤液处理等工业过程中的典型应用，力图能够反映当前膜领域的

拉拔模具在电线电缆、金属制品、建筑管材等制造行业应用广泛，起着非常关键的作用，直接影响相关行业生产效率、质量和原材料的有效利用。本书对各类内孔金刚石薄膜涂层器件根据具体需求，选用配套的辅助装置，结合FVM 计算流体动力学仿真和正交试验设计方法，确定最优化的沉积工艺，形成了系列化工艺方案，在基体内孔表面制备了厚度均匀的

拉拔模具在电线电缆、金属制品、建筑管材等制造行业应用广泛，起着非常关键的作用，直接影响相关行业生产效率、质量和原材料的有效利用。本书对各类内孔金刚石薄膜涂层器件根据具体需求，选用配套的辅助装置，结合FVM计算流体动力学仿真和正交试验设计方法，确定化的沉积工艺，形成了系列化工艺方案，在基体内孔表面制备了厚度均匀的高质量金

热障涂层是先进航空发动机涡轮叶片等高温部件的关键热防护材料，涂层剥落是巨大的瓶颈，极其复杂的微结构、服役环境与失效行为，给涂层剥落分析的力学理论、实验方法与试验平台带来诸多挑战。本书围绕热力化耦合理论、性能表征与考核评估阐述了热障涂层破坏理论与评估技术。本书分为三篇，共15章。篇即第1～6章介绍热障涂层破坏理论，第二篇

膜技术是材料科学和过程工程科学等诸多学科交叉的新型分离技术，以其低能耗、高效率的特点，成为解决我国当前水资源、能源、环境、传统产业改造等国家重大战略需求问题的共性关键技术。《膜技术手册》是我国膜领域众多专家共同编写的经典工具书，第二版在第一版基础上，着重针对膜技术在化工、石油化工、海水淡化、工业污水“零排放”、制药工业

硅烷复合膜层及应用