本书主要针对可见光、红外和太赫兹等谱域的折射与衍射微光学结构，开展新的设计、工艺制作和测试评估方法的研究。重点论述了以折射和衍射微光学积分变换为基础，有效出射可见光、红外及太赫兹多谱图像与波前的基础理论和基本方法，建立了基于衍射相位精细构建在设计、仿真、工艺、测试与评估等方面的数据和方法体系。
本书总结了作者及其研究团队过去10余年，针对可见光、红外以及太赫兹等谱域的折射和衍射微光学结构，开展新的设计和工艺制作方法方面的研究工作。重点论述了以折射和衍射微光学积分□换为基础的，能有效出射可见光、红外及太赫兹谱域的多谱光学强度图像与波前的基础理论和基本方法；建立了微光学图像和波前结构的设计、仿真、工艺、性能测试与评估等的有效手段和数据体系：获取了多项关键性的参数指标。通过对光学强度图像和波前在对比度、亮度、灰度、频谱和□动特征等方面的快速（实时）调控，实现了逼真出射层次丰富、细节清晰完整、图像参量易于控制、生成区域大、作用距离远、衍射效率和能量集中度较高的强度图像与波前。其主要研究工作如下：①建立了以折射和衍射微光学积分□换为基础、以微纳米特征尺寸微光学结构为执行结构的，能出射可见光、红外及太赫兹谱域的多谱图像与复杂波前的基础理论；②获得了微纳衍射相位结构的基本设计方法、制作工艺流程、关键参数以及图像出射效能的测试和评估方法；③在图像和波前仿真、光电对抗、与多种光学光电功能结构（包括CCD和CMOS光敏芯片）、与光电存储光学头匹配的折射和衍射物镜研制，以及太赫兹图形、图像和波前的生成与发射方面所获得的突破。
本书共8章：□□章综述了所采用的基础衍射积分□换理论；第□章讨论了基于单步光刻和KOH湿法刻蚀工艺制作衍射微光学结构的基本方法；第3章讨论了将单步光刻和KOH湿法刻蚀工艺用于发展微光学波前结构的基本问题；第4章详细讨论了将所发展的衍射微光学结构用于相干激光束的衍射整形与频谱空间分离等方面的基本问题；第5章主要讨论了衍射微光学结构的工艺制作、测试与性能评估问题；第6章讨论了将所发展的微光学结构的设计、制作、测试与评估方法，向太赫兹频域延伸所涉及的基本问题；第7章主要讨论了所发展的基本方法在特殊的红外和太赫兹波前结构应用方面的关键问题与特征；第8章主要开展了硅基非球面光学折射结构方面的基础问题研究。
第一章 光波衍射积分□换的基础理论与基本方法
1．1 光衍射图像生成
1．□ 衍射微光学结构
1．3 设计实例
1．4 小结
第□章 衍射微光学图像生成与发射结构
□．1 单步光刻与硅KOH湿法蚀刻
□．□ 可见光图像发射效能评估
□．3 小结
第3章 折射微光学波前出射结构
3．1 问题与挑战
3．□ 折射微光学波前出射结构的工艺制作方法
3．3 可见光谱域光学性能测试与评估
3．4 小结
第4章 相干光波的衍射整形与频谱空间分离
4．1 基础理论与基本方法
4．□ 常规近场与远场衍射积分□换
4．3 衍射结构设计算法
4．4 基于远场衍射的频谱空间分离
4．5 准连续相位分布的衍射微光学结构
4．5．1 光程差算法
4．5．□ GS算法
4．5．3 模拟退火算法
4．5．4 时域有限差分法
4．5．5 基于角谱的串行迭代算法
4．6 衍射微光学结构设计
4．7 毫米级近场的衍射积分□换
4．8 小结
第5章 构建衍射微光学结构执行复杂光束□换
5．1 衍射相位结构
5．□ 硅的各向异性KOH湿法蚀刻
5．3 测试与分析
5．4 具有准连续相位分布的衍射微光学波前结构
5．5 衍射微光学远场光束整形
5．5．1 单步电子束曝光
5．5．□ 测试、分析与讨论
5．6 适用于毫米级近场光束整形的衍射微光学结构
5．6．1 关键工艺流程
5．6．□ 特征属性表征与测试
5．6．3 常规光学性能测试与评估
5．7 小结
第6章 太赫兹图像的光衍射发射
6．1 太赫兹波衍射相位结构与光刻版图
6．□ 硅基太赫兹波衍射相位结构湿法蚀刻
6．3 典型特征评估
6．4 衍射相位结构设计与实现
6．4．1 KOH湿法蚀刻
6．4．□ 测试、讨论与分析
6．5 小结
……
第7章 红外与太赫兹波衍射微光学波前结构
第8章 硅基非球面光学折射结构
参考文献
书单推荐
