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微电子工艺与装备技术 
定 价：88 元 丛书名：中国科学院大学研究生教材系列
9 7 7 8 5 7 1 0 9 3 2 0 8 读者对象:本教材适用于电子信息、材料工程、生物工程、光学工程等相关专业本科生、研究生。
本书重点介绍微电子制造工艺技术的基本原理、途径、集成方法与设备。主要内容包括集成电路制造工艺、相关设备、新原理技术及工艺集成。本书力求让学生在了解集成电路制作基本原理与方法的基础上，紧密地联系生产实际，方便地理解这些原本复杂的工艺和流程，从而系统掌握半导体集成电路制造技术。本书内容由浅入深，理论联系实际，突出应用和基本技能的训练，教学仪器及实验室耗材等全部操作均采用案例教学的方式。
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