高性能MEMS惯性器件技术

定　　价：158 元

• 作者：刘福民等著
• 出版时间：2024/10/1
• ISBN：9787515924496
• 出 版 社：中国宇航出版社

• 中图法分类：TN965 
• 页码：289页
• 版次：1
• 开本：26cm

内容简介

本书围绕MEMS陀螺仪和MEMS加速度计的典型结构、误差机理、关键技术、制造工艺和测试技术等问题，由基本原理和公式推导出发，紧密结合工程实际，系统深入地对高性能MEMS惯性仪表技术进行了阐述。本书共7章，第1章概述；第2章介绍了MEMS陀螺仪典型结构及误差机理；第3章介绍了高性能MEMS陀螺仪关键技术；第4章介绍了高性能MEMS加速度计典型结构及误差机理；第5章介绍了高性能MEMS加速度计关键技术；第6章介绍了高性能MEMS惯性器件工艺技术；第7章介绍了高性能MEMS惯性器件测试技术。